型号：PHI 5000 VersaProbe Ⅲ

生产厂家：日本PHI

技术参数：

1、分析腔室最佳真空度：≤6.7Í10^-8 Pa

2、Ar离子枪能量范围：0-5 keV连续可调

3、单色化X射线聚焦束斑直径：10μm-400μm连续可调

主要功能：

可用于定性分析以及半定量分析，一般从XPS图谱的峰位和峰形获得样品表面元素成分、化学态和分子结构等信息，从峰强可获得样品表面元素含量。

样品要求：

1、样品状态：可为粉末、块状（5*5*3mm），无磁性，无腐蚀性，无挥发性元素

2、样品必须干燥，表面清洁，切勿用手触摸，保证表面为实际分析表面。