型号：MLA650F

生产厂家：美国FEI

技术参数：

扫描电镜：

1、分辨率：二次电子(SE)成像：高真空模式：30 kV时 1.0 nm；背散射电子(BSE)成像：高真空模式：30 kV时2.5 nm；

2、加速电压: 200 V - 30 kV

3、放大倍数: 6 x-1,000,000 x

能谱仪：

1、探头类型：电制冷硅漂移(SDD)探测器，无需液氮

2、探测器面积：30 mm²

3、能量分辨率(Mn Ka):在100,000 CPS条件下优于133 eV

4、可分析元素范围：Be4~Am95

主要功能：

扫描电镜:

1、利用二次电子像对导电干燥样品进行表面微区形貌观察（表面几何形态、形状，尺寸），缺陷检查；

2、利用背射电子像进行元素分布的定性分析

能谱仪:

1.配合电镜在材料微区表面做点、线、面的元素分布分析

样品要求：

1、样品应无毒性、无腐蚀性、无放射性、无磁性；

2、低熔点材料、电子束照射下会分解或释放出气体的样品不能检测；

3、粉末样品：直接粘贴于双面导电胶上；

4、块体样品：尽可能小块，表面平整，同一批次的样品高度相同，不能有粉尘出现。